[发明专利]谐振式换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410012729.0 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103929144B | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 吉田隆司;岩井滋人;佐佐木义孝 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/125 | 分类号： | H03H9/125;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 陈源,李铭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了谐振式换能器及其制造方法。谐振式换能器包括谐振器；谐振器电极，其连接至所述谐振器的端部；至少一个固定电极，其布置在所述谐振器附近；和掩埋部分，其形成在所述固定电极和所述谐振器电极之间。所述谐振器、所述谐振器电极和所述固定电极被利用同一有源层形成在衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 式换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种谐振式换能器，其包括：谐振器；谐振器电极，其连接至所述谐振器的端部；固定电极；其布置在所述谐振器的附近；绝缘体和掩埋部分形成在所述固定电极和所述谐振器电极之间，所述绝缘体和所述掩埋部分与真空室接触，所述掩埋部分中掺杂有杂质并且与基准电位连接，其中所述掩埋部分由多晶硅制成或者由能够耐氢氟酸或氟化氢的蒸汽的材料制成；其中所述谐振器、所述谐振器电极和所述固定电极被利用同一有源层形成在衬底上。
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