[发明专利]一种机械调制的硅电容式加速度计

摘要

本发明公开一种机械调制的硅电容式加速度计，包括基片、硅片和金属电极，所述硅片包括中心质量块（100）；所述中心质量块（100）包括内部中频活动部分（601）和围绕在所述内部中频活动部分（601）四周的外部低频活动部分（602），所述内部中频活动部分（601）和外部低频活动部分（602）之间通过梁（701）相连；所述金属电极包括：通过梁（702）与所述中心质量块（100）相连的质量块电极（101）、反馈负电极（202）、反馈正电极（201）、驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）、驱动检测负电极（402）、外界加速度检测正电极（301）和外界加速度检测负电极（302）。

主权项

一种机械调制的硅电容式加速度计，包括基片、硅片和金属电极，其特征在于：所述硅片包括中心质量块（100）；所述中心质量块（100）包括内部中频活动部分（601）和围绕在所述内部中频活动部分（601）四周的外部低频活动部分（602），所述内部中频活动部分（601）和外部低频活动部分（602）之间通过梁（701）相连；所述金属电极包括：位于所述中心质量块附近的质量块电极（101），所述质量块电极（101）通过梁（702）与所述中心质量块（100）相连；位于所述中心质量块附近的反馈负电极（202）、反馈正电极（201）；位于所述内部中频活动部分（601）附近的驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）、驱动检测负电极（402）、外界加速度检测正电极（301）、外界加速度检测负电极（302）、、驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）和驱动检测负电极（402）。