[发明专利]一种光栅取样参数检测装置有效
| 申请号： | 201410007108.3 | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103674498A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;陈波;达争尚;任寰;刘勇;姜宏振;柴立群;杨晓瑜;彭志涛;杨一 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光栅取样参数检测装置，光源发出的测量光经小口径汇聚透镜和滤光孔后形成球面点光源，然后入射至光栅，透过光栅的测量光束被汇聚大透镜准直后经软边光阑垂直入射至平面镜反射，被平面镜反射的测量光按原路返回至光栅刻蚀面，再经光栅刻蚀面衍射得到“零级”和“一级”衍射光，其中，“零级”光被取样镜I和取样镜II取样后入射至功率计I，“一级”光直接入射至固定在光栅尺上的功率计II中，通过控制数据实时采集系统分别接收“零级”和“一级”衍射点的光束能量和位置，通过计算得到各取样参数的测量值。本发明具有操作简单、测量效率高、测量重复性和稳定性高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 取样 参数 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种光栅取样参数检测装置，其特征在于：所述检测装置中的激光器（1）发出的测量光束被反射棱镜（2）反射至小口径汇聚透镜（3），然后会聚于滤光孔（4），经过滤光孔后形成球面点光源，然后入射至光栅（5），透过光栅的测量光束被大口径汇聚透镜（6）准直后经过软边光阑（7）再垂直入射至平面镜（8），被平面镜(8)反射的测量光按原路返回至光栅(5)刻蚀面，再经光栅(5)刻蚀面衍射得到“零级”和“一级”衍射光，其中，“零级”光被取样镜I（11）和取样镜II（12）取样后入射至功率计I(13)，“一级”衍射光直接入射至固定在光栅尺（14）上的功率计II(15)，可利用焦斑显微系统(10)观察“一级”衍射光焦斑状态，通过控制数据实时采集系统分别接收“零级”和“一级”衍射点的光束能量和位置，通过计算得到各取样参数的测量值。
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