[发明专利]用于吸取和保持晶片的卡盘

摘要

本发明涉及一种卡盘以及用于由所述卡盘吸取和保持晶片的方法，其中所述卡盘包括：分成多个吸取分段的平坦顶表面，其中所述吸取分段均被配置成吸取流体；以及底表面。所述方法包括以下步骤：在流体内将晶片和所述卡盘的顶表面带到附近使得两个或更多个吸取分段由晶片覆盖，至少松弛地覆盖；从还未激活的吸取分段中选择具有到晶片的最小距离的吸取分段；激活在先前步骤中选择的吸取分段；一旦在最后激活的吸取分段的区域中的晶片紧密地接触卡盘的顶表面并且只要至少一个吸取分段未被激活：就重复前述的步骤。

主权项

1.一种用于吸取和保持晶片的卡盘，包括细分成多个吸取分段的平坦顶表面，其中所述吸取分段的每个均被配置成吸取流体；以及底表面，其中：所述顶表面配置成在流体内被带到晶片附近使得所述吸取分段中的两个或更多个吸取分段由所述晶片覆盖，至少松弛地覆盖；并且所述吸取分段中的每个是单独可激活的，其中设置级联连接，其具有被配置为以真空供应的入口，并且连接到吸取分段以单独地激活所述吸取分段，其中所述级联连接被配置为施加额外的真空以稳定地保持晶片。