[发明专利]用于对工艺腔室的控制气体供应的方法、用于控制对工艺腔室的气体供应的控制器以及设备在审
| 申请号： | 201380079751.0 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105580103A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | F·施纳朋伯格;A·赫尔米希;T·科奇;T·德皮施 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于控制对工艺腔室(301)的气体供应的方法(200)。此方法(200)包括以下步骤：由在工艺腔室(301)中提供的两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的每一个测量(210)气体参数；从所测量的气体参数确定(220)组合的气体参数；以及基于所确定的组合的气体参数来控制(230)对工艺腔室(301)的气体供应。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 控制 气体 供应 方法 控制器 以及 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制对工艺腔室(301)的气体供应的方法(200)，所述方法包括以下步骤：由在所述工艺腔室(301)中提供的两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的每一个测量(210)气体参数；从所测量的所述气体参数确定(220)组合的气体参数；以及基于所确定的所述组合的气体参数来控制(230)对所述工艺腔室(301)的所述气体供应，其中控制所述气体供应的步骤包括以下步骤：调整所述气体供应，使得由所述两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的至少一个测量的所述气体参数对应于所述组合的气体参数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380079751.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
