[发明专利]高电压电源装置及利用该装置的质量分析装置

摘要

在求出基于对高电压的输出电压Vout进行分压而得到的电压与从外部设定的控制电压Vcont之差的指示电压Vf，并反馈控制于正电压产生部(2)及负电压产生部(4)的驱动电路(3、5)中的循环中，连接有以基于控制电压Vcont的电压值来对指示电压Vf进行钳位的过大过冲防止部(16)。在极性切换时，电压产生部(2、4)中产生的过冲主要取决于电路常数，过冲量在额定输出时即使为最适，在小电压输出时也会为过大。对此，在该装置中，指示电压Vf的过冲被过大过冲防止部抑制，因此在小电压输出时也能够迅速地静定于目标电压。

主权项

一种质量分析装置，其具有高电压电源装置，该高电压电源装置为了选择性地输出正负两极性的高电压，具备：产生正的高电压的正电压产生部；产生负的高电压的负电压产生部；被连接于所述正电压产生部的一对输出端之间的第一负载部；以及被连接于所述负电压产生部的一对输出端之间的第二负载部，该高电压电源装置通过将所述正电压产生部的一对输出端的一方与所述负电压产生部的一对输出端的一方连接来串联连接两电压产生部，以所述正电压产生部的一对输出端的另一方与所述负电压产生部的一对输出端的另一方中的任一个为基准侧，从该另一方取出极性被切换后的高电压输出，所述质量分析装置的特征在于，所述高电压电源装置包括：a)控制部，其根据基于检测电压的反馈控制，分别控制所述正电压产生部及所述负电压产生部中产生的电压，其中，所述检测电压是通过对所述高电压输出进行分压而得到的电压，并且，所述控制部在对所述高电压输出的正负极性进行切换时，将指示电压以如下方式发送到各电压产生部：所述正电压产生部与所述负电压产生部的一方的输出电压从第一规定电压开始变化并变为0，同时，另一方的输出电压从0开始变化产生过冲并收敛于第二规定电压；以及b)电压限制部，其被设置于所述控制部与所述正电压产生部及所述负电压产生部之间，为了抑制所述过冲而限制所述指示电压的值，所述控制部包含误差放大器，所述误差放大器为了对想要取出的高电压输出的电压值进行设定而求出从外部指示的控制电压与所述检测电压的差，所述电压限制部利用与所述误差放大器的输出连接的齐纳二极管，对该输出的电压进行钳位。