[发明专利]高电压电源装置及利用该装置的质量分析装置

权利要求书

1.一种质量分析装置，其具有高电压电源装置，该高电压电源装置为了选择性地输出正负两极性的高电压，具备：产生正的高电压的正电压产生部；产生负的高电压的负电压产生部；被连接于所述正电压产生部的一对输出端之间的第一负载部；以及被连接于所述负电压产生部的一对输出端之间的第二负载部，该高电压电源装置通过将所述正电压产生部的一对输出端的一方与所述负电压产生部的一对输出端的一方连接来串联连接两电压产生部，以所述正电压产生部的一对输出端的另一方与所述负电压产生部的一对输出端的另一方中的任一个为基准侧，从该另一方取出极性被切换后的高电压输出，所述质量分析装置的特征在于，所述高电压电源装置包括：

a)控制部，其根据基于检测电压的反馈控制，分别控制所述正电压产生部及所述负电压产生部中产生的电压，其中，所述检测电压是通过对所述高电压输出进行分压而得到的电压，并且，所述控制部在对所述高电压输出的正负极性进行切换时，将指示电压以如下方式发送到各电压产生部：所述正电压产生部与所述负电压产生部的一方的输出电压从第一规定电压开始变化并变为0，同时，另一方的输出电压从0开始变化产生过冲并收敛于第二规定电压；以及

b)电压限制部，其被设置于所述控制部与所述正电压产生部及所述负电压产生部之间，为了抑制所述过冲而限制所述指示电压的值，

所述控制部包含误差放大器，所述误差放大器为了对想要取出的高电压输出的电压值进行设定而求出从外部指示的控制电压与所述检测电压的差，

所述电压限制部利用与所述误差放大器的输出连接的齐纳二极管，对该输出的电压进行钳位。

2.如权利要求1所述质量分析装置，其特征在于，

所述电压限制部还包含将所述控制电压与基准电压进行比较的比较器，在所述控制电压低于基准电压时，将基于所述齐纳二极管的齐纳效应的钳位动作设为有效。

3.如权利要求2所述质量分析装置，其特征在于，

所述电压限制部包含：多个齐纳二极管，其被连接到所述误差放大器的输出，并且该多个齐纳二极管的齐纳电压不同；以及多个比较器，其与各齐纳二极管对应地设置，将所述控制电压与各个不同的基准电压进行比较，

根据所述控制电压的值，改变使钳位动作成为有效的齐纳二极管，由此变更钳位电压。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的质量分析装置，其特征在于，

所述质量分析装置具备离子源及/或离子检测部，所述离子源及/或所述离子检测部利用了基于所述的高电压电源装置的高电压输出，

所述质量分析装置根据分析对象的离子的极性，对基于所述高电压电源装置的高电压输出的极性进行切换。