[发明专利]基于MEMS的隔膜传感器系统和使用方法在审
| 申请号： | 201380073654.0 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN105073649A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | A.查特吉;A.巴塔查里亚;S.钱德拉塞卡兰 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | C02F1/44 | 分类号： | C02F1/44;B01D61/12;B01D63/10;B01D63/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 叶晓勇;姜甜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于监测基于隔膜的水过滤设备中的隔膜元件的MEMS传感器系统具有远程遥测单元(RTU)、SCADA和多个MEMS传感器，以用于测量压力、流率和传导性。水过滤设备具有列，其中隔膜管包含串联设置的多个隔膜元件，从而创建各隔膜元件之间的接口。MEMS传感器位于隔膜元件接口。一种监测基于隔膜的水过滤设备中的隔膜元件的方法使用放置在过滤设备隔膜元件接口的用于测量压力、流率和传导性的多个MEMS传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 隔膜 传感器 系统 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于基于隔膜的水过滤设备的微机电系统(MEMS)传感器系统，包括：远程遥测单元(RTU)、监控和数据获取单元(SCADA)以及多个MEMS传感器，用于测量流的压力、流率和传导性；所述水过滤设备包括列，所述列包括包含多个隔膜元件的隔膜管；所述隔膜元件接收馈送流并且产生浓缩流和渗透流；所述隔膜元件串联设置，从而创建各隔膜元件之间的接口；所述MEMS传感器测量所述隔膜接口处的所述馈送流、浓缩流和渗透流的所述流率、压力和传导性；所述隔膜管接收馈送流并且产生渗透流和浓缩流；常规压力传感器测量所述隔膜管渗透、浓缩和馈送流的所述压力；常规传导性传感器测量所述隔膜管渗透、浓缩和馈送流的所述传导性；常规流量传感器测量所述隔膜管渗透、浓缩和馈送流的所述流率；常规温度传感器测量所述隔膜管馈送流的所述温度；所述RTU与所述MEMS传感器和所述SCADA进行通信，以向所述SCADA提供所述MEMS传感器压力和传导性测量，所述RTU与所述MEMS传感器无线通信；所述常规传感器直接向所述SCADA提供测量；其中所述SCADA使用所述MEMS传感器和所述常规传感器测量来识别受损隔膜元件。
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