[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

摘要

图像取得装置(M)中，通过在第2光路(L2)上配置光程差生成构件(21)从而在第2摄像装置(20)上抑制了对焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之前的光学图像(前针)和焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之后的光学图像(后针)分别进行摄像的时候的光量，并且能够确保由第1摄像装置(18)进行摄像的时候的光量。另外，该图像取得装置(M)中，伴随着试样(S)的扫描方向的翻转而使摄像面(20a)上的第1摄像区域(22A)的位置和第2摄像区域(22B)的位置对于轴(P)来说翻转。因此，不论试样(S)的扫描方向如何，均能够以相同条件取得焦点位置的偏移方向。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于：具备：工作台，载置试样；工作台控制单元，以规定的速度扫描所述工作台；光源，朝着所述试样照射光；导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果，控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置；区域控制单元，在所述第2摄像单元的摄像面上设定取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域；以及光程差生成构件，被配置于所述第2光路，沿着所述摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像，所述光程差生成构件以所述第2光学图像的光程差对于垂直于伴随着所述试样的扫描的所述第2光学图像的移动方向的所述摄像面的轴而言成为对称的方式配置，所述区域控制单元伴随着所述试样的扫描方向的翻转而使所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置和所述第2摄像区域的位置对于所述轴而言翻转，在所述摄像面上，与入射到所述第1摄像单元的所述第1光学图像相共轭的光学图像所入射的区域与所述摄像面的轴大致相一致。