[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

权利要求书

1.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

工作台，载置试样；

工作台控制单元，以规定的速度扫描所述工作台；

光源，朝着所述试样照射光；

导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；

第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；

第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；

焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果，控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置；

区域控制单元，在所述第2摄像单元的摄像面上设定取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域；以及

光程差生成构件，被配置于所述第2光路，沿着所述摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像，

所述光程差生成构件以所述第2光学图像的光程差对于垂直于伴随着所述试样的扫描的所述第2光学图像的移动方向的所述摄像面的轴而言成为对称的方式配置，

所述区域控制单元伴随着所述试样的扫描方向的翻转而使所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置和所述第2摄像区域的位置对于所述轴而言翻转，

在所述摄像面上，与入射到所述第1摄像单元的所述第1光学图像相共轭的光学图像所入射的区域与所述摄像面的轴大致相一致。

2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像面的轴与垂直于伴随着所述试样的扫描的所述第2光学图像的移动方向的所述摄像面的中心轴大致相一致。

3.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光程差生成构件是以重叠于所述摄像面的至少一部分的方式配置的平板构件，

所述区域控制单元以避开由所述平板构件的边缘部分形成的所述第2光学图像的影子的方式将所述第1摄像区域和所述第2摄像区域分别设定于重叠于所述平板构件的区域和不重叠于所述平板构件的区域。

4.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光程差生成构件是以重叠于所述摄像面的至少一部分的方式配置的平板构件，

所述区域控制单元以避开由所述平板构件的边缘部分形成的所述第2光学图像的影子的方式将所述第1摄像区域和所述第2摄像区域分别设定于重叠于所述平板构件的区域和不重叠于所述平板构件的区域。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光程差生成构件为具有厚度沿着所述摄像面的面内方向连续地变化的部分的构件，

所述区域控制单元以重叠于所述光程差生成构件的厚度不同的部分的方式设定所述第1摄像区域和所述第2摄像区域。

6.如权利要求1～4中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

具备：

与所述试样相对峙的物镜；以及

根据由所述焦点控制单元进行的控制，相对地控制相对于所述试样的所述物镜的位置的物镜控制单元，

所述物镜控制单元在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析执行中不进行所述物镜的驱动，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析非执行中使所述物镜相对于所述试样在一个方向上移动。

7.如权利要求5所述的图像取得装置，其特征在于：

具备：

与所述试样相对峙的物镜；以及

根据由所述焦点控制单元进行的控制，相对地控制相对于所述试样的所述物镜的位置的物镜控制单元，

所述物镜控制单元在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析执行中不进行所述物镜的驱动，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析非执行中使所述物镜相对于所述试样在一个方向上移动。

8.如权利要求1～4中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述区域控制单元根据所述工作台的扫描速度和所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔，设定从所述第1摄像区域上的摄像到所述第2摄像区域上的摄像为止的等待时间。

9.如权利要求5所述的图像取得装置，其特征在于：

所述区域控制单元根据所述工作台的扫描速度和所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔，设定从所述第1摄像区域上的摄像到所述第2摄像区域上的摄像为止的等待时间。