[发明专利]控制在医用注射器、药筒等上的PECVD沉积的均匀性

摘要

描述了用于等离子体修饰一种工件诸如医用筒、医用筒、小瓶、或血液管的一种方法和设备。在该工件的内腔内提供等离子体。在有效于等离子体修饰该工件的表面的条件下提供该等离子体。在该内腔的至少一部分中提供磁场。该磁场具有一种取向和场强度，该取向和场强度有效于改善对总体上为圆柱形的内表面16的总体上为圆柱形的内表面16进行的等离子体修饰的均匀性。

主权项

1.一种制造用于医用药筒或注射器的医用筒的方法，该方法包括：·提供一种医用筒，该医用筒包括具有总体上为圆柱形的内表面的壁，该总体上为圆柱形的内表面定义了内腔的至少一部分，该总体上为圆柱形的内表面具有范围为从4至15mm的直径；·提供一种内电极，该内电极具有如下的外表面，该外表面包括位于该内腔内的一个部分，并且该部分与该总体上为圆柱形的内表面共轴并且径向地以1.2至6.9mm间隔开，该内电极具有一个内通道，该内通道具有至少一个出口；·提供一种外电极；·通过该内通道的至少一个出口将一种气态的PECVD前体引入到该内腔中；·在有效于在该总体上为圆柱形的内表面的至少一部分上形成一种等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)气体屏障涂层的条件下，将电磁能施加到该外电极，该屏障涂层或层具有平均厚度；并且·在有效于减少该总体上为圆柱形的内表面上的该气体屏障涂层的平均厚度的标准差的条件下，在施加该电磁能的同时，邻近于该医用筒施加磁场；其中在提供该磁场的至少部分时间，在该内腔的至少一部分中的磁场的至少一个部分被定向为其极轴总体上相对于待处理的该总体上为圆柱形的表面在径向平面上延伸。