[发明专利]亚甲基富勒烯在审
| 申请号： | 201380069217.1 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN104884423A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;乔恩·安德鲁·普利斯;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭;亚历山德拉·麦克莱兰德;杜鲁·阿希斯;薛祥 | 申请（专利权）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;乔恩·安德鲁·普利斯;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭;亚历山德拉·麦克莱兰德;杜鲁·阿希斯;薛祥 |
| 主分类号： | C07C69/753 | 分类号： | C07C69/753;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 浦彩华;武晨燕 |
| 地址： | 英国诺*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本披露涉及新颖的亚甲基富勒烯衍生物，由其制备的负型光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、极端紫外线辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。 | ||
| 搜索关键词： | 甲基 富勒烯 | ||
【主权项】：
一种包含以下通式的亚甲基富勒烯：![]()
其中x是10‑48，y是1‑6，n是0‑1，烷基是具有1‑16个碳原子的支链或无支链的、取代或未取代的二价烷基链，有或没有一个或多个取代进入该链的杂原子，芳基是取代或未取代的二价苯基、杂芳基、或稠合芳基或稠合杂芳基，并且R是H或对酸敏感的基团。
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