[发明专利]带有折箱干涉测量换能器的微气压计有效
| 申请号： | 201380067937.4 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104884921B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | S·奥利维尔;D·庞塞奥 | 申请（专利权）人： | 原子能及能源替代委员会 |
| 主分类号： | G01L7/06 | 分类号： | G01L7/06;G01L11/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种折箱式微气压计，包括：参考底座11；折箱12，其一端固定在该底座的参考表面上，其伸长方向与该参考表面垂直；盖板13，将该折箱的另一端封闭，以便使其与外界密封隔离，折箱处于长度变化与其周围次声波引起的压力变化成正比的状态；还包括与盖板连成一体的反射部件14和干涉测量元件16，干涉测量元件16带有正对着反射部件的、与折箱的延伸方向平行的输入‑输出光路，能够接收来自于光源的光束，并与底座的参考表面联结，以便能向该反射部件发射部分光束并在该光束被该反射部件反射后接收该光束，该干涉测量元件采用集成技术，在同一基片内包含光导路线、光分离区和光合并区。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 干涉 测量 换能器 气压计 | ||
【主权项】：
1.一种折箱式微气压计，包括：参考底座(11、21)；折箱(12、22)，该折箱的一端固定在该底座的参考表面上，该折箱的延伸方向与该参考表面垂直；将该折箱的另一端封闭的盖板(13、23)，以便使该折箱与外界密封隔离，折箱处于长度变化与其周围次声波引起的压力变化成正比的状态；与盖板连成一体的反射部件(14、24)；被布置为与盖板(13、23)正对着的干涉测量元件(16、26)，带有正对着反射部件的、与折箱的延伸方向平行的输入‑输出光路，能够接收来自于光源的光束，并与底座的参考表面联结，以便能向该反射部件发射部分光束并在该光束被该反射部件反射后接收该光束，该干涉测量元件采用集成技术，在同一基片内包含光导路线(31、33、34、39、36、41、42、44、45)、光分离区和光合并区(32、38、35、40、43)，该微气压计的干涉测量元件由二氧化硅基片构成，二氧化硅基片中的一些区域经过改变以便形成所述光导路线、分离区和合并区。
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