[发明专利]金属表面处理装置及利用该装置的金属表面处理方法在审
申请号: | 201380067371.5 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN104870681A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 金准浩;郑又沧;车秉哲;权阿朗;曹亨镐 | 申请(专利权)人: | 韩国生产技术研究院 |
主分类号: | C23C8/24 | 分类号: | C23C8/24;C23C8/02;C23C8/80 |
代理公司: | 北京华睿卓成知识产权代理事务所(普通合伙) 11436 | 代理人: | 程淼;彭武 |
地址: | 韩国忠清南道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明的金属表面处理装置,对加热至可进行表面处理的温度的对象金属进行表面处理,包含反应腔室和处理气体供应部,所述反应腔室构成为与所述对象金属的外表面形状对应的形状,布置为与所述对象金属外表面的间隔在预定值内,并能收容所述对象金属的至少一部分,所述处理气体供应部向收容在所述反应腔室内的对象金属侧供应自催化反应所需的处理气体。并且,利用该装置的金属表面处理方法,包含如下步骤:将对象金属置放于反应腔室内,所述反应腔室构成为与所述对象金属的外表面形状对应的形状,布置为与所述对象金属外表面的间隔在预定值内,并能收容所述对象金属的至少一部分;通过处理气体供应部向所述反应腔室内供应处理气体而在所述对象金属上通过自催化反应形成处理气体层。 | ||
搜索关键词: | 金属表面 处理 装置 利用 方法 | ||
【主权项】:
一种金属表面处理装置,对加热至可进行表面处理的温度的对象金属进行表面处理,包含反应腔室和处理气体供应部,所述反应腔室构成为与所述对象金属的外表面形状对应的形状,布置为与所述对象金属外表面的间隔在预定值内,并能收容所述对象金属的至少一部分,所述处理气体供应部向收容在所述反应腔室内的对象金属侧供应自催化反应所需的处理气体。
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