[发明专利]利用高速粒子束的液膜去除方法有效
| 申请号： | 201380065787.3 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104853854A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 金忍号;李振远 | 申请（专利权）人： | 浦项工科大学校产学协力团 |
| 主分类号： | B08B7/02 | 分类号： | B08B7/02;B08B6/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国庆尚北道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用高速粒子束的液膜去除方法，其包括：湿式清洗步骤，利用清洗液清洗对象物；以及干式清洗步骤，通过喷射升华性粒子来同时去除残留于所述物体的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物质或杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 高速 粒子束 去除 方法 | ||
【主权项】：
一种利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，包括：湿式清洗步骤，利用清洗液清洗对象物；干式清洗步骤，通过喷射升华性粒子来同时去除残留于所述对象物的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物质或杂质，所述干式清洗步骤，将粒子生成气体通过包括第一膨胀部和第二膨胀部的喷嘴并喷射至对象物，并且所述第二膨胀部的平均膨胀角比所述第一膨胀部的膨胀角大，所述干式清洗步骤包括：核生成步骤，所述粒子生成气体通过置于所述喷嘴的喷嘴喉的孔口的同时急速膨胀，从而实现核生成；粒子生成步骤，经过所述核生成步骤后，通过从喷嘴喉出口延伸的第一膨胀部的同时实现核生长，从而生成升华性粒子；以及粒子加速步骤，经过所述粒子生成步骤后，通过第二膨胀部的同时，抵消边界层的生长且所述升华性粒子的喷射速度上升，所述第二膨胀部从所述第一膨胀部的出口延伸并具有比所述第一膨胀部的膨胀角更大的平均膨胀角。
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