[发明专利]用于具有优化系统参数的光学计量的设备及方法

摘要

本发明呈现用于实现跨越计量系统参数的集合的小测量盒大小规格的方法及系统。在测量期间通过选择性约束所述系统参数集合中的一或多者实现所述小测量盒大小规格。测量系统参数(例如照明波长、偏振状态、入射极角及入射方位角)的子集经选择用于测量以维持相对于在所述测量中利用完全、可用范围的测量系统参数原本可实现的较小测量盒大小。以此方式，通过约束测量系统参数空间实现影响测量盒大小的一或多个因素的控制。此外，测量信号的子集可经选择以维持相对于在所述测量中利用所有可用测量信号原本可实现的较小测量盒大小。

主权项

1.一种用于具有优化系统参数的光学计量的方法，其包括:以来自可操作以产生具有入射极角的范围、入射方位角的范围、偏振状态的范围及照明波长的范围中的任何两者以上的可用照明光的照明子系统的照明光照明样本；将所述可用照明光约束到入射极角的所述范围、入射方位角的所述范围、偏振状态的所述范围及照明波长的所述范围中的所述两者以上中的任一者的子集，以最小化测量盒大小并实现相对于利用所述可用照明光本来能实现的较小的测量盒大小；产生指示所述样本对所述照明光的响应的多个输出信号；及至少部分基于所述多个输出信号确定结构参数的估计；其中所述约束所述可用照明光是至少部分基于对归因于几何效应、光衍射效应、像差效应及所述照明光与所述样本之间的互动中的任一者对测量盒大小的影响的分析。