[发明专利]陀螺仪传感器及具有陀螺仪传感器的复合传感器

摘要

在陀螺仪传感器中，在外侧驱动锤(31)内在x轴方向上排列地配置有检测锤(32、33)，通过耦合弹簧(44)将两检测锤(32、33)连结。这样，通过用耦合弹簧(44)将两检测锤(32、33)连结，能够将同相模式的共振频率(fin)与反相模式的共振频率(fanti)分离。为此，能够成为能抑制受到了冲击时的输出误差、能进行更正确的角速度检测的陀螺仪传感器。

主权项

一种陀螺仪传感器，其特征在于，具有：基板(10)，具备固定部(20)；可动部(30)，经由支承梁(41)与所述固定部(20)连接，并且具备具有质量部(31a)的驱动锤(31)，将与所述基板的平面平行且包含x轴和与x轴正交的y轴的平面作为xy平面，将沿着所述x轴的方向作为x轴方向，将沿着所述y轴的方向作为y轴方向，在角速度检测时，所述质量部(31a)基于所述支承梁的位移而在所述xy平面上往复旋转振动或者在所述y轴方向上往复振动；两个检测锤(32、33)，经由检测梁(42、43)与所述驱动锤连接，并在所述x轴方向上排列；耦合弹簧(44)，将所述两个检测锤连结；以及检测电极(14)，将沿着与所述xy平面垂直的z轴的方向作为z轴方向，并在所述z轴方向上与所述两个检测锤分别相隔规定距离而配置，伴随着角速度施加，所述两个检测锤在所述z轴方向上向互相相反的方向振动，从而所述两个检测锤与所述检测电极之间的距离变化，基于在所述两个检测锤与所述检测电极之间构成的两个电容器的电容值向互相相反的相位变化，使用表示两个电容值的变化进的信号的差动输出，进行角速度检测。