[发明专利]处理离子束的装置有效
| 申请号： | 201380061200.1 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104823263A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 常胜武 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种离子束扫描总成(202，300)包括扫描电极组(314a，314b，316a，316b，318)，扫描电极组界定一间隙(330)以接收离子束或在第一平面(xz-平面)扫描离子束。静电多极透镜系统，包括多个电极(304，306，310，312)，沿部分藉由一对扫描电极所界定的离子束前进路径排列。静电多极透镜系统经组态以在垂直于第一平面的方向(y)上改变离子束的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 离子束 装置 | ||
【主权项】：
一种离子束扫描总成，包括：扫描电极组，界定其间的间隙以在第一平面接收离子束并扫描所述离子束；以及静电多极透镜系统，包括多个电极，沿部分藉由所述扫描电极组界定的所述离子束的前进路径排列，所述静电多极透镜系统经组态以在垂直于所述第一平面的方向上改变所述离子束的形状。
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