[发明专利]处理离子束的装置

权利要求书

1.一种离子束扫描总成，包括：

扫描电极组，界定其间的间隙以在第一平面接收离子束并扫描所述离子束；以及

静电多极透镜系统，包括多个电极，沿部分藉由所述扫描电极组界定的所述离子束的前进路径排列，所述静电多极透镜系统经组态以在垂直于所述第一平面的方向上改变所述离子束的形状。

2.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述静电多极透镜系统是静电四极透镜系统，经组态以改变所述离子束的形状，所述静电四极透镜系统包括：

第一透镜，包括第一与第二电极经组态以在所述离子束路径的所述部份的第一区段上界定所述离子束路径的相对两侧；

第二透镜，位于所述第一透镜沿所述离子束路径的下游，所述第二透镜包括第三电极与第四电极经组态以界定所述离子束路径的相对两侧；以及

电压产生器组，经组态以施加多个分别的电压至所述第一至第四电极，其中所述多个电压产生垂直于所述离子束路径的电场组。

3.根据权利要求2所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压包括范围在0至50千伏之间的直流正电压。

4.根据权利要求2所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压包括范围在0至-50千伏之间的直流负电压。

5.根据权利要求2所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压包括具有振幅范围在-25千伏至+25千伏之间，并且频率范围在100至2000赫兹之间的振荡电压。

6.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述扫描电极组的一对或多对电极有效的产生分别的一个或多个电压波形，每一个所述电压波形包括叠加在直流偏移电压的振荡电压，其中所述振荡电压的振幅范围相对于所述直流偏移电压是在-25千伏至+25千伏之间，其中所述振荡电压的所述频率范围是在100至2000赫兹之间，并且其中所述直流偏移电压的范围是在-25千伏至+25千伏之间。

7.根据权利要求2所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压经组态以在垂直所述第一平面的所述方向上扩展所述离子束。

8.根据权利要求2所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压经组态以在所述第一平面的方向上压缩所述离子束，并且在垂直所述第一平面的方向上延展所述离子束。

9.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述扫描电极组的一对或多对电极经组态以施加分别的一个或多个振荡电场以扫描所述离子束。

10.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述扫描电极组的一对或多对电极经组态以产生分别的一个或多个电压波形，每一个所述电压波形包括叠加在直流偏移电压上的振荡电压，所述振荡电压经组态以产生所述振荡电场，并且所述直流偏移电压经组态以改变所述离子束的形状。

11.根据权利要求3所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压包括在大于0伏且最大至50千伏正电压范围的直流正电压。

12.根据权利要求4所述的离子束扫描总成，其中所述多个电压包括在小于0伏且最小至-50千伏负电压范围的直流负电压。

13.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述扫描电极组的一对或多对电极包括沿所述离子路径约50至300毫米的长度。

14.根据权利要求1所述的离子束扫描总成，其中所述扫描电极组的一对或多对电极在垂直于所述离子束路径的方向上具有大约50毫米至150毫米的高度。