[发明专利]真空泵有效
申请号: | 201380057109.2 | 申请日: | 2013-10-14 |
公开(公告)号: | CN104781558B | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | A.J.佩蒂;E.卢切塔;I.基奇;M.E.巴拉米;R.G.霍尔勒 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D27/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李建新;李婷 |
地址: | 英国西萨*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 本发明涉及一种真空泵(10),其包括涡轮分子泵送机构(14),其中涡轮分子泵送机构的工作特性取决于真空泵的方位,并且该泵包括用于感测方位的方位传感器(28)。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
1.一种真空泵,包括涡轮分子泵送机构和用于感测所述真空泵的方位的方位传感器;其中,所述真空泵构造成用于在至少一个可允许的方位下运行,并且,使所述真空泵在除所述至少一个可允许的方位以外的方位下运行至少会使所述涡轮分子泵送机构的性能劣化;其中,所述方位传感器设置成输出指示所述真空泵的方位的信号,用于编译使所述真空泵的运行与在运行期间感测到的所述真空泵的方位相关联的数据;所述真空泵还包括油润滑回路,所述油润滑回路用于向所述真空泵的相对运动的表面供给油润滑剂,其中油润滑剂的供给取决于所述方位传感器所感测的所述真空泵的方位。
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