[发明专利]紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源和紫外光产生用靶的制造方法有效
申请号: | 201380055450.4 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN104736661B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 本多庆范;武富浩幸;福世文嗣;河合浩司;高冈秀嗣;铃木孝 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | C09K11/00 | 分类号: | C09K11/00;C09K11/79;H01J63/06 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦,黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的紫外光产生用靶,包括透射紫外光的基板和设置在基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包括粉末状或颗粒状的且被添加有活化剂的、含有Lu和Si的氧化物结晶(例如PrLPS结晶或PrLSO结晶)。 | ||
搜索关键词: | 紫外光 产生 电子束 激发 紫外 光源 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外光产生用靶,其特征在于,具备:透射紫外光的基板;和设置在所述基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层,所述发光层包括氧化物结晶,该氧化物结晶为粉末状或颗粒状,且被添加有活化剂,并含有Lu和Si,所述氧化物结晶的表面被通过热处理熔融并再固化后的结晶熔融层覆盖。
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