[发明专利]紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源和紫外光产生用靶的制造方法

权利要求书

1.一种紫外光产生用靶，其特征在于，

具备：

透射紫外光的基板；和

设置在所述基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层，

所述发光层包括氧化物结晶，该氧化物结晶为粉末状或颗粒状，且被添加有活化剂，并含有Lu和Si，

所述氧化物结晶的表面被通过热处理熔融并再固化后的结晶熔融层覆盖。

2.如权利要求1所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

通过所述结晶熔融层，所述氧化物结晶彼此、以及所述氧化物结晶与所述基板相互熔接。

3.如权利要求1或2所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

所述氧化物结晶包含LPS和LSO中的至少一种。

4.如权利要求3所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

所述活化剂为Pr。

5.如权利要求1或2所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

所述基板由蓝宝石、石英或水晶构成。

6.如权利要求3所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

所述基板由蓝宝石、石英或水晶构成。

7.如权利要求4所述的紫外光产生用靶，其特征在于：

所述基板由蓝宝石、石英或水晶构成。

8.一种电子束激发紫外光源，其特征在于：

具备：

权利要求1～7中的任一项所述的紫外光产生用靶；

对所述紫外光产生用靶施加电子束的电子源；

从电子源引出并用于施加电压的引出电极；和

配置有所述紫外光产生用靶、所述电子源、所述引出电极的排气成真空的电子管，

所述电子束从所述发光层入射，

在所述发光层产生的所述紫外线从所述基板出射。

9.一种紫外光产生用靶的制造方法，其特征在于：

通过使氧化物结晶沉积在使紫外光透射的基板上，并对所述氧化物结晶进行热处理，使所述氧化物结晶的表面熔融、并再固化而形成结晶熔融层，所述氧化物结晶为粉末状或颗粒状、且被添加有活化剂、并含有Lu和Si，

所述氧化物结晶包含LPS和LSO中的至少一种，

所述活化剂为稀土类元素。

10.如权利要求9所述的紫外光产生用靶的制造方法，其特征在于：

所述热处理的温度为1000℃以上且2000℃以下。