[发明专利]基板回收装置

摘要

本发明提供一种基板回收装置(1)，其包括：载物台(3)，其使多个基板(2)朝向下方地载置有片(11)；提取部(4)，其在该载物台(3)的上方针对配置在预定的位置的一部分基板(2)进行预定的操作，由此使基板(2)自片(11)剥离并落下；观察部(5)和回收部(7)，其配置在载物台(3)的下方；以及移动机构(8)，其用于使观察部(5)和回收部(7)一体地沿水平方向移动；移动机构(8)能够将观察部(5)和回收部(7)定位在观察部(5)或回收部(7)配置于预定的位置的大致铅垂下方的两个位置。

主权项

一种基板回收装置，其通过进行预定的操作而将以能够剥离的方式粘接于片构件的多个基板中的一部分基板从所述片构件剥离并回收，其中，该基板回收装置包括：载物台，其使所述多个基板朝向下方地载置有所述片构件，并能够沿水平方向移动；提取部，其通过在该载物台的上方针对该载物台上的所述基板进行所述预定的操作而使所述基板自所述片构件剥离并落下；观察部，其用于从所述载物台的下方观察该载物台上的所述基板；回收部，其用于在所述载物台的下方回收自该载物台落下的所述基板；以及移动机构，其用于使所述观察部和所述回收部一体地沿水平方向移动；所述提取部针对相对于该提取部配置在预定的相对位置的所述一部分基板进行所述预定的操作，所述移动机构能够将所述观察部和所述回收部定位在所述观察部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第1位置和所述回收部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第2位置。