[发明专利]基板回收装置

权利要求书

1.一种基板回收装置，其通过进行预定的操作而将以能够剥离的方式粘接于片构件的多个基板中的一部分基板从所述片构件剥离并回收，其中，该基板回收装置包括：

载物台，其使所述多个基板朝向下方地载置有所述片构件，并能够沿水平方向移动；

提取部，其通过在该载物台的上方针对该载物台上的所述基板进行所述预定的操作而使所述基板自所述片构件剥离并落下；

观察部，其用于从所述载物台的下方观察该载物台上的所述基板；

回收部，其用于在所述载物台的下方回收自该载物台落下的所述基板；以及

移动机构，其用于使所述观察部和所述回收部一体地沿水平方向移动；

所述提取部针对相对于该提取部配置在预定的相对位置的所述一部分基板进行所述预定的操作，

所述移动机构能够将所述观察部和所述回收部定位在所述观察部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第1位置和所述回收部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第2位置。

2.根据权利要求1所述的基板回收装置，其中，

所述观察部包括：

反射构件，其用于在所述第1位置将所述载物台上的所述基板的像向与铅垂方向交叉的方向反射；以及

摄影构件，其用于拍摄由该反射构件反射的所述像。

3.根据权利要求1或2所述的基板回收装置，其中，

所述基板以通过被自所述片构件侧顶出而能够剥离的方式粘接于所述片构件，

所述提取部包括：抵接构件，其具有隔着所述片构件抵接于所述一部分基板的抵接端；以及移动机构，其用于使该抵接构件沿大致铅垂方向移动。

4.根据权利要求1或2所述的基板回收装置，其中，

所述基板利用粘接力因紫外线的照射而降低的粘接剂粘接于所述片构件，

所述提取部具有向所述预定的相对位置照射紫外线的射出面。