[发明专利]激光装置、具备该激光装置的曝光装置以及检查装置

摘要

激光装置具备激光发生部(1)，具有产生第1波长的激光的第1光源和产生第2波长的激光的第2光源；放大部，对第1波长以及第2波长的激光分别进行放大而输出第1放大光和第2放大光；波长变换部，将第1放大光进行波长变换为第1变换光，从第1变换光和第2放大光通过波长变换来产生输出光，或者，将第1放大光和第2放大光分别进行波长变换为第1变换光和第2变换光，从第1变换光和第2变换光通过波长变换来产生输出光；以及控制部，控制激光发生部的动作，控制部构成为通过控制来自第1光源的激光的输出和来自第2光源的激光的输出的相对定时，在波长变换部中的输出光的产生位置，调节第1变换光和第2放大光的时间上的重叠、或者第1变换光和第2变换光的时间上的重叠，控制输出光的输出状态。

主权项

一种激光装置，其特征在于，具备：激光发生部，具有产生脉冲状的第1波长的激光的第1光源和输出脉冲状的第2波长的激光的第2光源；放大部，具备对包含所述第1波长和所述第2波长的波段的光具有增益的放大器，所述第1波长的激光和所述第2波长的激光被入射到所述放大部，该放大部对所述第1波长的激光和所述第2波长的激光进行放大，输出对所述第1波长的激光进行放大而得到的第1放大光和对所述第2波长的激光进行放大而得到的第2放大光；波长变换部，具有第1波长变换光学元件和第2波长变换光学元件，所述第1放大光和所述第2放大光被入射到所述第1波长变换光学元件，该第1波长变换光学元件将所述第1放大光波长变换为第1变换光，并且使所述第2放大光透过，所述第1变换光和透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光被入射到所述第2波长变换光学元件，该第2波长变换光学元件从所述第1变换光和透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光通过波长变换来产生第2变换光；以及控制部，控制所述激光发生部的动作，所述控制部构成为通过控制来自所述第1光源的所述第1波长的激光的输出和来自所述第2光源的所述第2波长的激光的输出的相对定时，在所述波长变换部中的所述第2变换光的产生位置，调节所述第2波长变换光学元件中的所述第1变换光和所述第2放大光的时间上的重叠，控制所述第2变换光的输出状态。