[发明专利]激光装置、具备该激光装置的曝光装置以及检查装置

权利要求书

1.一种激光装置，其特征在于，具备：

激光发生部，具有产生脉冲状的第1波长的激光的第1光源和输出脉冲状的第2波长的激光的第2光源；

放大部，具备对包含所述第1波长和所述第2波长的波段的光具有增益的放大器，所述第1波长的激光和所述第2波长的激光被入射到所述放大部，该放大部对所述第1波长的激光和所述第2波长的激光进行放大，输出对所述第1波长的激光进行放大而得到的第1放大光和对所述第2波长的激光进行放大而得到的第2放大光；

波长变换部，具有第1波长变换光学元件和第2波长变换光学元件，所述第1放大光和所述第2放大光被入射到所述第1波长变换光学元件，该第1波长变换光学元件将所述第1放大光波长变换为第1变换光，并且使所述第2放大光透过，所述第1变换光和透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光被入射到所述第2波长变换光学元件，该第2波长变换光学元件从所述第1变换光和透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光通过波长变换来产生第2变换光；以及

控制部，控制所述激光发生部的动作，

所述控制部构成为通过控制来自所述第1光源的所述第1波长的激光的输出和来自所述第2光源的所述第2波长的激光的输出的相对定时，在所述波长变换部中的所述第2变换光的产生位置，调节所述第2波长变换光学元件中的所述第1变换光和所述第2放大光的时间上的重叠，控制所述第2变换光的输出状态。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

所述第1波长和所述第2波长分别设定为在所述第2波长变换光学元件中，满足通过所述第1变换光与所述第2放大光进行和频率产生的相位匹配条件，并且，不满足通过所述第1变换光与所述第1放大光进行和频率产生的相位匹配条件那样的波长。

3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，

所述第1波长和所述第2波长分别设定为在所述第1波长变换光学元件中，满足产生所述第1放大光的高次谐波的相位匹配条件，并且，不满足产生所述第2放大光的高次谐波的相位匹配条件那样的波长。

4.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，

所述控制部在所述第2波长变换光学元件中，切换为所述第1变换光和所述第2放大光在时间上重复的状态和不重复的状态，从而控制所述第2变换光的接通/关断。

5.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，

所述控制部在所述第2波长变换光学元件中，使所述第1变换光和所述第2放大光的时间上的重复率变化，从而控制所述第2变换光的功率。

6.一种激光装置，其特征在于，具备：

激光发生部，具有产生脉冲状的第1波长的激光的第1光源和输出脉冲状的第2波长的激光的第2光源；

放大部，具备对包含所述第1波长和所述第2波长的波段的光具有增益的放大器，所述第1波长的激光和所述第2波长的激光被入射到所述放大部，该放大部对所述第1波长的激光和所述第2波长的激光进行放大，输出对所述第1波长的激光进行放大而得到的第1放大光和对所述第2波长的激光进行放大而得到的第2放大光；

波长变换部，具有第1波长变换光学元件、第2波长变换光学元件以及第3波长变换光学元件，所述第1放大光和所述第2放大光被入射到所述第1波长变换光学元件，该第1波长变换光学元件将所述第1放大光波长变换为第1变换光，并且使所述第2放大光透过，所述第1变换光和透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光被入射到所述第2波长变换光学元件，该第2波长变换光学元件将透过了所述第1波长变换光学元件的所述第2放大光波长变换为第2变换光，并且使所述第1变换光透过，所述第2变换光和透过了所述第2波长变换光学元件的所述第1变换光被入射到所述第3波长变换光学元件，该第3波长变换光学元件从所述第1变换光和所述第2变换光通过波长变换来产生第3变换光；以及

控制部，控制所述激光发生部的动作，

所述控制部构成为通过控制来自所述第1光源的所述第1波长的激光的输出和来自所述第2光源的所述第2波长的激光的输出的相对定时，在所述波长变换部中的所述第3变换光的产生位置，调节所述第3波长变换光学元件中的所述第1变换光和所述第2变换光的时间上的重叠，控制所述第3变换光的输出状态。