[发明专利]图案的形成方法有效

专利信息
申请号: 201380049763.9 申请日: 2013-09-11
公开(公告)号: CN104685592B 公开(公告)日: 2018-01-16
发明(设计)人: 野村健一;牛岛洋史;岩瀬典子;吉田学 申请(专利权)人: 独立行政法人产业技术综合研究所
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H05K3/20;C09D11/037;C09D11/52
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 代理人: 刘新宇,张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供如下方法和装置能够减少在使用导电膏、绝缘膏、或者半导体膏并利用丝网印刷法印刷布线·电极等的图案时所产生的图案侧壁部的塌边并且减少上述布线·电极等的图案、全面固体膜上的网痕,从而制造高品质的电子零件;以及提供一种能够适用丝网印刷并以比以往少的工序数来进行双面印刷的图案的形成方法。通过使用导电膏、绝缘膏、或者半导体膏并利用丝网印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面的橡皮布上印刷图案,并将该图案自该橡皮布转印至被印刷物,从而形成图案。
搜索关键词: 图案 形成 方法
【主权项】:
一种图案的形成方法,其特征在于,在该图案的形成方法中,使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏,并利用丝网印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面的橡皮布上印刷图案,并将该图案自该橡皮布转印至被印刷物,使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏、并利用丝网印刷法在所述橡皮布上印刷了第一图案之后,在印刷有该第一图案的橡皮布上配置所述被印刷物,进而在该被印刷物的、与同该橡皮布相对的面相反的一侧的面上印刷了第二图案之后,将该被印刷物自该橡皮布上剥离而将所述第一图案转印于该被印刷物。
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