[发明专利]图案的形成方法有效
申请号: | 201380049763.9 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN104685592B | 公开(公告)日: | 2018-01-16 |
发明(设计)人: | 野村健一;牛岛洋史;岩瀬典子;吉田学 | 申请(专利权)人: | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H05K3/20;C09D11/037;C09D11/52 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供如下方法和装置能够减少在使用导电膏、绝缘膏、或者半导体膏并利用丝网印刷法印刷布线·电极等的图案时所产生的图案侧壁部的塌边并且减少上述布线·电极等的图案、全面固体膜上的网痕,从而制造高品质的电子零件;以及提供一种能够适用丝网印刷并以比以往少的工序数来进行双面印刷的图案的形成方法。通过使用导电膏、绝缘膏、或者半导体膏并利用丝网印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面的橡皮布上印刷图案,并将该图案自该橡皮布转印至被印刷物,从而形成图案。 | ||
搜索关键词: | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种图案的形成方法,其特征在于,在该图案的形成方法中,使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏,并利用丝网印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面的橡皮布上印刷图案,并将该图案自该橡皮布转印至被印刷物,使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏、并利用丝网印刷法在所述橡皮布上印刷了第一图案之后,在印刷有该第一图案的橡皮布上配置所述被印刷物,进而在该被印刷物的、与同该橡皮布相对的面相反的一侧的面上印刷了第二图案之后,将该被印刷物自该橡皮布上剥离而将所述第一图案转印于该被印刷物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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