[发明专利]复合式静电杆与静电透镜有效
| 申请号： | 201380049471.5 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104662637B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 奥利佛·V·那莫佛斯奇;沙杜·佩特尔;查理斯·A·泰欧多尔赤克 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马雯雯,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合式静电杆与静电透镜。所述复合式静电杆可包括具有长度L及截面积A的本体。所述本体可包括具有第一材料的外部部分以及具有不同于第一材料的第二材料的核心部分，且所述核心部分被所述外部部分包围，其中复合式静电杆的自然频率大于具有长度L及截面积A的石墨杆的自然频率。 | ||
| 搜索关键词： | 增加 自然 频率 混合式 静电透镜 | ||
【主权项】：
一种复合式静电杆，包括：主体，包括长度L以及横截面积A，所述主体还包括：外部部分，包括可分离地结合在一起的上外壳与下外壳，所述上外壳与所述下外壳由第一材料形成；以及核心，包括不同于所述第一材料的第二材料，且被所述外部部分环绕，其中复合式静电杆的自然频率大于具有所述长度L以及所述横截面积A的石墨杆的自然频率。
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