[发明专利]改良的边缘环的周缘

摘要

本发明的实施例一般涉及一种支撑环，用以支撑在处理腔室中的基板。在一个实施例中，所述支撑环包括：内部环；外部环，所述外部环通过平坦部而连接至所述内部环的外部周边；边缘周缘，所述边缘周缘从所述内部环的内部周边向内径向延伸，以形成支撑突部来支撑所述基板；以及基板支撑件，所述基板支撑件形成于所述边缘周缘的顶表面上。所述基板支撑件可包括从所述边缘周缘的顶表面向上且垂直地延伸的多个突出部，或者多个U形夹具，所述U形夹具可固定至所述边缘周缘的边缘部。所述基板支撑件将所述基板与所述边缘周缘热分离，以防止通过所述边缘周缘的热损失，因而产生横越所述基板的改良的温度分布，所述改良的温度分布具有最小的边缘温度梯度。

主权项

1.一种基板支撑环，包括：环主体；边缘周缘，所述边缘周缘从所述环主体的表面向内径向延伸；及三或更多个基板支撑件，所述基板支撑件围绕着所述边缘周缘的圆周而等距地相间隔，其中所述基板支撑件是U形夹具。