[发明专利]将导体与基材连接的方法和装置在审

专利信息
申请号: 201380045632.3 申请日: 2013-08-22
公开(公告)号: CN104736288A 公开(公告)日: 2015-06-24
发明(设计)人: 艾尔沙德·希林诺 申请(专利权)人: 赖茵豪森机械制造公司
主分类号: B23K10/02 分类号: B23K10/02;H01L31/05
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 归莹;张颖玲
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及用于将导体(10)与基材(20)连接的方法和装置(1)。装置(1)包括至少一个定位单元(40),它将导体(10)定位于在基材(20)上或附近的待连接部分(33)中。在至少一个等离子体源(50)中产生等离子体(51)。至少一个供应管路(55)用于将复合材料(30)输送入等离子体源(50)的等离子体(51)中。另外,多个根据本发明的装置(1)可以被整合在一个系统内,该系统设计用于并行加工一个或多个基材(20)。
搜索关键词: 导体 基材 连接 方法 装置
【主权项】:
一种将导体(10)与基材(20)连接的方法,其特征是,该方法具有以下步骤:通过定位单元(40)将导体(10)定位在基材(20)上的待连接部分(32);在至少一个等离子体源(50)中产生等离子体(51)并且将复合材料(30)输送至所述等离子体(51),其中,该复合材料(30)通过其性质的至少部分改变而被活化;通过该至少一个等离子体源(50)的至少一个喷嘴(53)朝向该待连接部分(32)定向输出等离子体流(52)和其所含的被活化的复合材料(31);和将该活化的复合材料(31)沉积在该待连接部分(32)上,从而由该复合材料(30)构成的沉积物(33)以材料接合方式将该导体(10)与该基材(20)连接起来。
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