[发明专利]将导体与基材连接的方法和装置在审
申请号: | 201380045632.3 | 申请日: | 2013-08-22 |
公开(公告)号: | CN104736288A | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 艾尔沙德·希林诺 | 申请(专利权)人: | 赖茵豪森机械制造公司 |
主分类号: | B23K10/02 | 分类号: | B23K10/02;H01L31/05 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 归莹;张颖玲 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导体 基材 连接 方法 装置 | ||
1.一种将导体(10)与基材(20)连接的方法,其特征是,该方法具有以下步骤:
通过定位单元(40)将导体(10)定位在基材(20)上的待连接部分(32);
在至少一个等离子体源(50)中产生等离子体(51)并且将复合材料(30)输送至所述等离子体(51),其中,该复合材料(30)通过其性质的至少部分改变而被活化;
通过该至少一个等离子体源(50)的至少一个喷嘴(53)朝向该待连接部分(32)定向输出等离子体流(52)和其所含的被活化的复合材料(31);和
将该活化的复合材料(31)沉积在该待连接部分(32)上,从而由该复合材料(30)构成的沉积物(33)以材料接合方式将该导体(10)与该基材(20)连接起来。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,执行在该基材(20)上的沿连接路径(34)的该待连接部分(32)与该至少一个等离子体源(50)之间的相对运动。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,被供应给等离子体源(50)的该复合材料(30)由许多材料组分(36、37)组成。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,这些材料组分(36、37)及其在该沉积物(33)中的混合比沿着连接路径(34)改变。
5.根据前述诸项权利要求的方法,其中,该等离子体源(50)在进给方向(R)上布置在至少另一个等离子体源(501)之后,借助所述至少另一个等离子体源,由其它复合材料(301)构成的其它沉积物(331)连同该沉积物(33)一起被涂覆,或者在该沉积物(33)上被至少涂覆在部分表面上。
6.根据前述权利要求之一的方法,其中,热沉(41)设置在该待连接部分(32)上或者热沉通过定位单元(40)与该导体(10)导热连接,从而从该导体(10)散走热能。
7.根据前述权利要求之一的方法,其中,通过该定位单元(40),调节朝向该基材(20)作用于该导体(10)的压力(F1)和/或在进给方向(R)上作用于该导体(10)的拉力(F2)。
8.根据前述权利要求之一的方法,其中,该复合材料(30)包括至少一种粉末,该粉末混合有载气(35)或载流体并被均匀化。
9.一种将导体(10)与基材(20)连接的装置(1),其具有:
用于将导体(10)定位在待连接部分(32)中的定位单元(40);
用于产生等离子体(51)的至少一个等离子体源(50);
用于输送复合材料(30)到该等离子体源(50)的等离子体(51)中的至少一个供应管路(55);
其特征是,该等离子体源(50)形成至少一个喷嘴(53),等离子体流(52)连同其所含的活化的复合材料(31)通过该至少一个喷嘴被引向该待连接部分(32),从而所形成的沉积物(33)以材料接合方式将该导体(10)和该基材(20)连接起来。
10.根据权利要求9所述的装置,其中,设有至少一个调节系统(60),该调节系统被构造用于产生该基材(20)的相对于所述至少一个等离子体源(50)和所述定位单元(40)的沿连接路径(34)的三维相对运动。
11.根据权利要求9或10所述的装置(1),其中,每个所述至少一个等离子体源(50)具有至少一个供应管路(55),用以复合材料(30)输送到该等离子体(51)中。
12.根据权利要求11所述的装置(1),其中,每个供应管路(55)包括计量单元(56),该计量单元被设计用于可协调一致地分配载气(35)和该复合材料(30)的相应至少一种材料组分(36、37)。
13.根据权利要求9至12之一所述的装置(1),其中,在该待连接部分(32)上或在该定位单元(40)上给该导体(10)分配至少一个热沉(41)。
14.根据权利要求9至14之一所述的装置(1),其中,所述至少一个等离子体源(50)在进给方向(R)上布置在至少另一个等离子体源(501)之前和/或之后。
15.一种系统,其包括多个根据权利要求9至14之一所述的装置(1),用于并行加工一个或多个基材(20)。
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