[发明专利]用于可控地显示隐藏在对象如晶片中的结构的方法和装置

摘要

本发明涉及用于在对象(20)、如晶片的区域中检查包围在所述对象(20)中的结构(70a、70b、70c)、如通孔的存在的成像方法和装置，其采用：成像传感器(22)；能够在所述成像传感器(22)上产生在视场中的对象(20)的图像(73、74)的光学成像单元(34)；和用于产生照明光束(25、30)并以反射方式照亮所述视场的照明单元(23、27)，其特征在于其包括以下步骤：通过用第一照明光束(25、30)照明所述对象(20)来获取第一图像(73)，所述第一照明光束(25、30)的光谱成分适合于对象(20)的性质以使得所述光束(25、30)的光基本能够射入到所述对象(20)中；通过用第二照明光束(25、30)照明所述对象(20)来获取第二图像(74)，所述第二照明光束(25、30)的光谱成分适合于对象(20)的性质以使得所述光束(25、30)的光基本上被对象(20)的表面反射；和比较所述第一图像(73)和第二图像(74)以识别出现在第一图像(73)中但不出现在第二图像(74)中的结构(71a)。

主权项

1.一种用于在对象(20)的表面处检查包围在所述对象(20)中的结构(70a、70b、70c)的存在的成像方法，其使用成像传感器(22)、能够在所述成像传感器(22)上产生在视场中的所述对象(20)的和所述结构(70a、70b、70c)的图像(73、74)的光学成像单元(34)、和用于产生照明光束(25)并以反射方式照亮所述视场的照明单元(23)，所述照明光束(25)在所述视场中沿着与所述光学成像单元(34)的光轴(49)基本平行的照明轴入射，其特征在于，其包括以下步骤：‑通过用第一照明光束(25)照明所述对象(20)来获取所述对象(20)的第一图像(73)，所述第一照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第一照明光束(25)的光基本能够射入到所述对象(20)中，‑通过用第二照明光束(25)照明所述对象(20)来获取所述对象(20)的第二图像(74)，所述第二照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第二照明光束(25)的光基本上被所述对象(20)的表面反射，和‑比较所述第一图像(73)和所述第二图像(74)以识别出现在所述第一图像(73)中但不出现在所述第二图像(74)中的结构(71a)。