[发明专利]用于可控地显示隐藏在对象如晶片中的结构的方法和装置

权利要求书

1.一种用于在对象(20)的表面处检查包围在所述对象(20)中的结构(70a、70b、70c)的存在的成像方法，其使用成像传感器(22)、能够在所述成像传感器(22)上产生在视场中的所述对象(20)的和所述结构(70a、70b、70c)的图像(73、74)的光学成像单元(34)、和用于产生照明光束(25)并以反射方式照亮所述视场的照明单元(23)，所述照明光束(25)在所述视场中沿着与所述光学成像单元(34)的光轴(49)基本平行的照明轴入射，其特征在于，其包括以下步骤：

-通过用第一照明光束(25)照明所述对象(20)来获取所述对象(20)的第一图像(73)，所述第一照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第一照明光束(25)的光基本能够射入到所述对象(20)中，

-通过用第二照明光束(25)照明所述对象(20)来获取所述对象(20)的第二图像(74)，所述第二照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第二照明光束(25)的光基本上被所述对象(20)的表面反射，和

-比较所述第一图像(73)和所述第二图像(74)以识别出现在所述第一图像(73)中但不出现在所述第二图像(74)中的结构(71a)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述对象(20)是晶片。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述结构(70a、70b、70c)是通孔。

4.一种用于在对象(20)的表面处检查包围在所述对象(20)中的结构(70a、70b、70c)的存在的成像装置，其包括：

-成像传感器(22)，

-能够在所述成像传感器(22)上产生在视场中的所述对象(20)的和所述结构(70a、70b、70c)的图像的光学成像单元(34)，

-用于产生照明光束(25)并以反射方式照亮所述视场的照明单元(23)，所述照明光束(25)在所述视场中沿着与所述光学成像单元(34)的光轴(49)基本平行的照明轴入射，

其特征在于，所述照明单元(23)能够：

-产生第一照明光束(25)，所述第一照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第一照明光束(25)的光基本能够射入到所述对象(20)中，和

-产生第二照明光束(25)，所述第二照明光束(25)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述第二照明光束(25)的光基本被所述对象(20)的表面反射。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述照明单元(23)包括能够将照明光束的光谱限制到基本能够射入到所述对象(20)中的波长的光谱滤波器(26)。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述光谱滤波器(26)包括由与所述对象(20)的材料相同或相似的材料制成的板。

7.根据权利要求5或6所述的装置，其中，所述光谱滤波器(26)包括硅板。

8.根据权利要求5或6所述的装置，其中，所述照明单元(23)还包括：

-能够发射光谱包括以下波长的光的光源(24)：基本能够被所述对象(20)的表面反射的第一波长和基本能够射入到所述对象(20)中的第二波长，和

-用于将所述光谱滤波器(26)插入到所述照明光束中、或从所述照明光束中移出的切换单元。

9.根据权利要求4所述的装置，其中，所述照明单元(23)包括光源，所述光源能够发射光谱被限制到基本能够射入到所述对象(20)中的波长的光。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述照明单元(23)还包括第二光源，所述第二光源能够发射光谱被限制到基本能够被所述对象(20)的表面反射的波长的光。