[发明专利]合金溅射靶材、制造方法及软磁性薄膜层、垂直磁记录介质

摘要

提供一种溅射中没有裂纹的Fe‑Co系合金溅射靶材。该Fe‑Co系合金溅射靶材，由下式(1)(FeX‑Co100‑X)100‑YMY...(1)(式中，原子比是0≤X≤100，4≤Y≤28，M元素含有Nb、Ta、Mo、W、Cr和V中的一种或两种以上)所表示的Fe‑Co‑M系合金构成。该溅射靶材的显微组织具有以Fe和Co为主体的相、和由Fe与Co中的一种或两种及M元素所构成的金属问化合物相，在全体显微组织中共晶组织所占的面积为30％以下。

主权项

一种合金溅射靶材，其是由下式(1)所表示的合金构成，(FeX－Co100－X)100－YMY…   (1)式中，原子比是0≤X≤100，4≤Y≤28，M元素含有Nb、Ta、Mo、W、Cr和V中的一种或两种以上，其中，该溅射靶材的显微组织具有以Fe和/或Co为主体的相、和由Fe与Co中的一种或两种及M元素所构成的金属间化合物相，全体显微组织中共晶组织所占的面积为30％以下。