[发明专利]用于从包括氮化钛的表面剥离光致抗蚀剂的组合物和方法有效
| 申请号： | 201380038401.X | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN104487900B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 埃马努埃尔·I·库珀;马尔茨·康纳;迈克尔·欧文斯 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/32;H01L21/027;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明已经开发了一种用于从微电子器件去除本体和/或硬化光致抗蚀剂材料的方法和低pH组合物。所述低pH组合物包括硫酸和至少一种含磷的酸。所述低pH组合物有效去除所述硬化光致抗蚀剂材料，而不损坏下面的含硅层或金属栅极材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包括 氮化 表面 剥离 光致抗蚀剂 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于剥离抗蚀剂的组合物，所述组合物包含硫酸和至少一种含磷的酸，条件是所述含磷的酸不能包括磷酸本身,其中所述组合物还包含至少一种氧化剂，条件是所述至少一种氧化剂不包括过氧化氢本身。
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