[发明专利]圆筒形聚合物掩膜和制造方法

摘要

一种圆筒形掩膜可使用中空浇注圆筒和掩膜圆筒来制造。所述浇注圆筒具有比所述掩膜圆筒的外径大的内径。所述浇注圆筒和所述掩膜圆筒被同轴地组装，并且液体聚合物被注入在所述浇注圆筒的内表面与所述掩膜圆筒的外表面之间的环绕所述掩膜圆筒的空间内。在固化所述液体聚合物之后，移除所述浇注圆筒。所述固化聚合物的表面可被图案化。要强调的是，本摘要是提供来符合要求摘要将容许检索者或其它读者可快速确认技术公开内容的主题的规则。本摘要是在理解摘要不会被用来解读或限制权利要求书的范围或含义的情况下提交。

主权项

1.一种制造圆筒形掩膜的方法，所述方法包括：将第一圆筒和在其外表面上具有图案的掩膜圆筒同轴地组装，其中所述第一圆筒具有比所述掩膜圆筒的外径大的内径；将第一液体聚合物前体注入在所述第一圆筒与所述掩膜圆筒之间的空间内；固化在所述第一圆筒与所述掩膜圆筒之间的所述空间内的所述第一液体聚合物前体，由此形成在其内表面上具有图案的固化聚合物的第一圆筒形层；移除所述第一圆筒，从而在所述掩膜圆筒的表面上留下所述固化聚合物的第一圆筒形层；相对于本身翻折所述固化聚合物的所述第一圆筒形层以使其内外颠倒，并且由此将所述固化聚合物的所述第一圆筒形层从所述掩膜圆筒移除；用保护膜覆盖所述第一圆筒形层，并将被所述保护膜覆盖的所述第一圆筒形层嵌入至第二圆筒内，其中所述保护膜抵靠在所述第二圆筒的内表面；将另一掩膜圆筒同轴地组装入所述第一圆筒形层内，其中所述另一掩膜圆筒具有比所述固化聚合物的第一圆筒形层的内径小的外径；将第二液体聚合物前体充填在所述另一掩膜圆筒的外表面与所述固化聚合物的第一圆筒形层的内表面之间的空间内；固化所述第二液体聚合物前体以创建固化聚合物的第二层，借以使所述固化聚合物的第二层与所述第一圆筒形层所作为的第一层一起形成用于所述圆筒形掩膜的适形层；和移除所述第二圆筒和所述保护膜。