[发明专利]光取向曝光装置及光取向曝光方法有效
申请号: | 201380034909.2 | 申请日: | 2013-03-29 |
公开(公告)号: | CN104395832A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 梶山康一;桥本和重;新井敏成 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02F1/1337 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;杨生平 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光取向曝光装置及光取向曝光方法。将取向曝光方式适用于多域法时,消除单位图像区域的分割区域中的边界附近的取向混乱。一种光取向曝光装置(100),其将液晶显示元件的各单位图像区域分割为多个分割区域,并分别向不同方向对各分割区域的取向材料膜进行光取向,所述光取向曝光装置具备:第1掩模(M1)及第1曝光装置(11),用于单独接近式曝光第1分割区域(Da1);第2掩模(M2)及第2曝光装置(12),用于单独接近式曝光与第1分割区域(Da1)相邻的第2分割区域(Da2);及第3掩模(M3)及第3曝光装置(13),用于曝光第1分割区域(Da1)与第2分割区域(Da2)的边界附近的第1分割区域(Da1)侧的区域,第3曝光装置(13)相对于被曝光面Bs具备与第1曝光装置(11)或第2曝光装置(12)相同的光照射角度,在第3掩模(M3)的掩模开口与被曝光面(Bs)之间具备聚光机构(20),其使掩模透射光聚光于边界附近的第1分割区域(Da1)侧的区域。 | ||
搜索关键词: | 取向 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种光取向曝光装置,其将液晶显示元件的各单位图像区域分割为多个分割区域,并分别向不同方向对各分割区域的取向材料膜进行光取向,其特征在于,所述光取向曝光装置具备:第1掩模及第1曝光装置,用于单独接近式曝光作为所述分割区域之一的第1分割区域;第2掩模及第2曝光装置,用于单独接近式曝光作为所述分割区域之一且与所述第1分割区域相邻的第2分割区域;及第3掩模及第3曝光装置,用于曝光所述第1分割区域与所述第2分割区域的边界附近的所述第1分割区域侧的区域,所述第3曝光装置相对于被曝光面具备与所述第1曝光装置相同的光照射角度,在所述第3掩模的掩模开口与被曝光面之间具备聚光机构,其使掩模透射光聚光于所述边界附近的所述第1分割区域侧的区域。
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