[发明专利]用于盘形基片的传送和移交机构、真空处理设备以及用于制造被处理基片的方法

摘要

一种用于盘形基片的传送和移交机构，其包括：承载器(3)和接管机构(15)。二者相对于彼此可移动。通过接管机构(15)处的永磁体(17)的远距离控制，可磁化材料制成的相对较重的基片承载器(7)由接管机构(15)进行接管或者从其返回到承载器(3)。借助于气动活塞/汽缸机构(19)来实现移交机构(15)中的永磁体(17)的受控驱动器。

主权项

1.一种用于盘形基片的传送和移交机构，包括：带有水平放置的承载器表面的承载器；因其重量而保持在所述承载器表面上的托盘形基片承载器，每个基片承载器均具有至少一个用于基片的平面容置座并且具有由可磁化材料构成的至少一个部件，所述基片承载器包括围绕所述容置座的周边突出边缘，其中所述容置座是凹入所述基片承载器的表面内的凹处，且所述周边突出边缘从所述基片承载器的表面突出；带有与所述承载器表面对置且从其间隔开的接管表面的接管机构，其中，所述承载器和所述接管机构彼此相对且彼此平行地以可控方式进行移动，并且因而至少一个所述基片承载器能够相继地循序达到与所述接管表面相对齐；其中，进一步地：至少一个永磁体被设置在所述接管机构上；所述至少一个永磁体和所述至少一个部件之间的距离可控地变化成两个预定距离位置，以致作用在所述基片承载器上的磁力在第一位置处大于所述基片承载器的重量，而在第二位置处则小于所述基片承载器的重量。