[发明专利]制造太阳能电池的方法和由此得到的太阳能电池

摘要

太阳能电池的制造包括通路孔(2)的蚀刻，该通路孔(2)具有锥形形状，使得在衬底(1)的预期作为主面以用于捕获入射光的第一面(1a)处的直径(A)大于在衬底(1)的第二面(1b)处的直径(B)。第一掺杂区域(3)延伸到通路孔(2)中的第一表面(11)。第二掺杂区域(5)存在于衬底(1)的第二表面(1b)处并且适合地通过离子注入形成。产生的太阳能电池具有通过通路孔(2)中的第二表面(12)在第一掺杂区域(3)和第二掺杂区域(5)之间的适当的隔离，并且适合地在第一掺杂区域(3)和衬底(1)中的掺杂剂之间设置有深的结。

主权项

一种制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：‑提供具有第一面和第二面的硅衬底，所述第一面预期作为主面以用于捕获入射光；‑向所述衬底中提供第一通路孔，所述第一通路孔从所述第一面延伸到所述第二面或者在不延伸到所述第二面的情况下朝向所述第二面延伸，在朝向所述第二面延伸的后一种选择中，所述第一通路孔在施加掺杂剂之后打开，所述第一通路孔设置有锥形形状，使得所述第一通路孔分别地具有在所述第一面处的第一直径，和在所述第二面处或者靠近所述第二面处的第二直径，其中所述第一直径大于所述第二直径；‑在扩散过程中，施加第一传导类型的掺杂剂以提供第一掺杂区域，所述第一掺杂区域被界定在所述第一面上和所述第一通路孔的第一表面处；‑施加与所述第一传导类型相反的第二传导类型的掺杂剂以提供在所述衬底的所述第二面处的第二掺杂区域；‑将导体材料施加在所述衬底的所述第一面和所述第二面的部分处以及施加到所述第一通路孔中，以形成穿过所述衬底的通路，以界定第一导体，其特征在于：‑所述第二掺杂区域是背表面场，所述背表面场延伸直到所述通路，而没有在所述衬底的所述第二面处的任何中间的发射极‑背表面场隔离区域；‑所述第一表面延伸到所述第一面，并且通过所述第一通路孔中的第二表面与所述衬底的所述第二面间隔开，所述第二表面界定了在所述第一掺杂区域和所述第二掺杂区域之间的隔离区域；‑钝化层被提供到所述衬底的所述第一面和所述第二面上以及所述第一通路孔的至少一个表面上，‑所述第一导体提供了从作为所述第一面上的发射极的所述第一掺杂区域到所述第二面上的触点的连接。