[发明专利]提供用于可控加热的电弧放电的局部真空操作的系统和方法

摘要

在可控部分真空中进行适用于加热光纤用于处理的放电，从而达到可用可电离气体分子的饱和。由此，使得工件温度为绝对气压的稳定可控函数，并且对其他条件不敏感。提供了实现上述的系统和方法。

主权项

1.一种光纤处理系统，包括：至少两个电极；至少一个光纤夹具，被配置成夹持光纤；气密外壳，提供部分真空，在其内设置所述至少两个电极，从而使得所述光纤的一部分保持在所述气密外壳内的所述至少两个电极之间的间隙中；电弧放电单元，被配置成选择性地控制被提供给所述至少两个电极的足够的驱动电流，从而在所述间隙中的电弧放电区域中产生电弧放电，足以在所选气压下使所述电弧放电区域内的气体电离至饱和；以及控制单元，被耦合至所述电弧放电单元、真空产生文丘里管和压力传感器，以控制所述系统的操作，从而在电弧放电区域的电离饱和时通过控制所述外壳内的气压建立所述电弧放电区域的温度上限；其中，所述压力传感器被配置成感应所述气密外壳内的压力，所述真空产生文丘里管被所述控制单元控制以在所述气密外壳内产生所述部分真空。