[发明专利]用于检查工件的方法和设备

摘要

描述了用于在维度测量设备如坐标测量机(12‑20)上测量一系列名义上相同的生产工件(10)的方法。校准所述一系列名义上相同的生产工件(10)中的一个标准工件(84)，以提供用于建立所述测量设备的误差图(86)的校正值。所述误差图不仅用于校正同一系列(88)的名义上相同的随后工件的测量，而且还用于校正多个不同的随后系列(90)的不同工件的测量。每个随后系列还具有标准工件，该标准工件被校准并用于进一步建立误差图(86)。随着该过程随时间重复，所述误差图变得越来越稠密。在适当的时候，免于使用经校准的标准工件就变成可能，因为可以使用已经存在于所述误差图中的误差值来校正测量。

主权项

一种用于在维度测量设备上测量生产工件的方法，所述方法包括：获取生产工件，该生产工件是通过生产工艺生产的第一系列名义上相同的工件中的一个工件；在所述维度测量设备上测量所述生产工件作为标准工件；从所述维度测量设备的外部来源获得针对所述标准工件的校准值；将所述校准值与所述标准工件的测量结果进行比较以产生一个或者多个标准工件校正值；使用所述标准工件校正值来填充或进一步填充误差图或查找表或者来计算或再次计算误差函数，以校准所述维度测量设备；在所述维度测量设备上测量通过所述生产工艺生产的所述第一系列的一个或者多个另外的名义上相同的工件；使用所述校正值或所述误差图或查找表或误差函数来校正所述第一系列的所述另外的名义上相同的工件的测量；其特征在于，在所述维度测量设备上测量一个或者多个第二工件，其中所述一个或者多个第二工件不同于或者在所述维度测量设备上的定位不同于所述第一系列的工件中的所述名义上相同的工件；以及使用所述误差图或查找表或误差函数来校正所述一个或者多个第二工件的测量，所述误差图或查找表或误差函数是使用所述标准工件校正值产生的。