[发明专利]红外线传感器装置和用于制造红外线传感器装置的方法

摘要

本发明提出一种红外线传感器装置(100；200；300)，其具有半导体衬底(1)、至少一个在半导体衬底(1)中微机械构造的传感器元件(2)、和至少一个在半导体衬底(1)中微机械构造的用于传感器元件(2)的校准元件(3)，其中在半导体衬底(1)上在传感器元件(2)和校准元件(3)的区域内布置吸收材料(6)，其中在半导体衬底(1)中基本上在传感器元件(2)之下并且基本上在校准元件(3)之下分别构造洞穴(8)，其中传感器元件(2)和校准元件(3)借助洞穴(8)来与其余的半导体衬底(1)进行热分离和电分离。因此对于红外线传感器装置实现高灵敏度，实现用于传感器元件的校准功能，并且实现高信噪比。

主权项

红外线传感器装置（100；200；300），具有：‑ 半导体衬底（1）；– 至少一个在所述半导体衬底（1）中微机械构造的传感器元件（2）；和– 至少一个在所述半导体衬底（1）中微机械构造的、用于所述传感器元件（2）的校准元件（3），其中在所述半导体衬底（1）上在所述传感器元件（2）和所述校准元件（3）的区域内布置吸收材料（6），其中在所述半导体衬底（1）中在所述传感器元件（2）之下并且在所述校准元件（3）之下分别构造洞穴（8），其中所述传感器元件（2）和所述校准元件（3）借助所述洞穴（8）来与其余的半导体衬底（1）进行分离，其中所述校准元件（3）与所述半导体衬底（1）通过热桥（13）热耦合，以及其中所述热桥（13）包含用于提升所述热桥（13）的导热性的金属结构（4）。