[发明专利]用于纠正等离子体处理系统中的不对称性的方法和装置

摘要

公开了一种具有等离子体处理室的等离子体处理系统，该等离子体处理室包括室壁和室衬里中的至少一个。等离子体处理系统包括设置在室表面的周边附近的多个接地母线，该室表面是等离子体处理室的室壁和室衬里中的一个。等离子体处理系统还包括联接到多条接地母线中的至少第一接地母线的至少第一阻抗装置，其中多条接地母线的第二接地母线不具备与第一阻抗装置具有相同阻抗值的第二阻抗装置。

主权项

一种具有等离子体处理室的等离子体处理系统，其包括：室壁和室衬里中的至少一个；围绕室表面的周边设置的多条接地母线，所述室表面是所述等离子体处理室的室壁和室衬里中的一个；多个阻抗装置，其设置为围绕室表面的周边并且每一个与所述多条接地母线中对应的一条相关；所述多个阻抗装置中的第一阻抗装置耦合到所述多条接地母线中的第一接地母线，其中所述多个阻抗装置中的第二阻抗装置耦合到所述多条接地母线中的第二接地母线，所述第二阻抗装置具有与所述第一阻抗装置的阻抗值不同的阻抗值；其中所述第一阻抗装置和第二阻抗装置是单独可调的，以在围绕室表面的周边的区域限定不对称阻抗，以补偿等离子体处理体统中的方位角不均匀性；其中所述多个阻抗装置中的每一个是缠绕在所述多条接地母线中对应的每一条周围的线圈；其中线圈电流值被提供到每个线圈以在所述多条接地母线中的每一条中引起逆电流或附加电流。