[发明专利]磁传感器及其磁检测方法有效
申请号: | 201380008538.0 | 申请日: | 2013-02-06 |
公开(公告)号: | CN104105978A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 石井宏典;藤田浩己 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;G01R33/02;H01L43/08 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种磁传感器和磁检测方法。第一布置图案具备:第一磁检测部(201),其在基板上具有磁感应构件(201a)以及长度与磁感应部的长度不同的聚磁构件(201b),以与基板平行且磁感应构件的通过长边方向中点的中线(Ma)与聚磁构件的长边方向的中线(Mb)不相交叉的方式水平地进行配置;第二磁检测部(202),其结构与第一磁检测部的结构相同,以及连接部,其将第一磁检测部的磁感应构件与第二磁检测部的磁感应构件电串联连接,其中,第一磁检测部的磁感应构件和第二磁检测部的磁感应构件两者被配置成具有点对称的位置关系且相互不重叠,第三布置图案与基板平面平行,并且以聚磁构件和磁感应构件的位置关系相对于与第一布置图案的聚磁构件的长边方向平行的线对称并且相互不重叠的方式分离地相对置配置。 | ||
搜索关键词: | 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种磁传感器,具备能够对与基板的平面平行的任意的轴方向的磁场进行检测的、由第一布置图案和第三布置图案构成的第一结构,该磁传感器的特征在于,上述第一布置图案在上述基板上具备:第一磁检测部,其具有四角形状的磁感应构件以及长度与该磁感应部的长度不同的四角形状的聚磁构件,以与基板平行且上述磁感应构件的通过长边方向中点的中线与上述聚磁构件的长边方向的中线相互不交叉的方式水平地配置;第二磁检测部,其结构与该第一磁检测部的结构相同;以及连接部,其将上述第一磁检测部的磁感应构件与上述第二磁检测部的磁感应构件电串联连接,其中,上述第一磁检测部的磁感应构件与上述第二磁检测部的磁感应构件两者被配置成以被上述第一磁检测部的聚磁构件与上述第二磁检测部的聚磁构件夹持的方式具有点对称的位置关系并且上述第一磁检测部与上述第二磁检测部相互不重叠,上述第三布置图案具有与上述第一布置图案相同的结构,该第三布置图案与基板的平面平行,该第三布置图案的上述聚磁构件和上述磁感应构件的位置关系与上述第一布置图案的上述聚磁构件和上述磁感应构件的位置关系相对于与该第一布置图案的上述聚磁构件的长边方向平行的线对称,并且该第三布置图案与上述第一布置图案以相互不重叠的方式分离地相对置配置。
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