[发明专利]磁传感器及其磁检测方法有效
申请号: | 201380008538.0 | 申请日: | 2013-02-06 |
公开(公告)号: | CN104105978A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 石井宏典;藤田浩己 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;G01R33/02;H01L43/08 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 及其 检测 方法 | ||
1.一种磁传感器,具备能够对与基板的平面平行的任意的轴方向的磁场进行检测的、由第一布置图案和第三布置图案构成的第一结构,该磁传感器的特征在于,
上述第一布置图案在上述基板上具备:
第一磁检测部,其具有四角形状的磁感应构件以及长度与该磁感应部的长度不同的四角形状的聚磁构件,以与基板平行且上述磁感应构件的通过长边方向中点的中线与上述聚磁构件的长边方向的中线相互不交叉的方式水平地配置;
第二磁检测部,其结构与该第一磁检测部的结构相同;以及
连接部,其将上述第一磁检测部的磁感应构件与上述第二磁检测部的磁感应构件电串联连接,
其中,上述第一磁检测部的磁感应构件与上述第二磁检测部的磁感应构件两者被配置成以被上述第一磁检测部的聚磁构件与上述第二磁检测部的聚磁构件夹持的方式具有点对称的位置关系并且上述第一磁检测部与上述第二磁检测部相互不重叠,
上述第三布置图案具有与上述第一布置图案相同的结构,该第三布置图案与基板的平面平行,该第三布置图案的上述聚磁构件和上述磁感应构件的位置关系与上述第一布置图案的上述聚磁构件和上述磁感应构件的位置关系相对于与该第一布置图案的上述聚磁构件的长边方向平行的线对称,并且该第三布置图案与上述第一布置图案以相互不重叠的方式分离地相对置配置。
2.一种磁传感器,具备能够检测与基板的平面垂直的方向的磁场的、由第二布置图案和第四布置图案构成的第三结构,该磁传感器的特征在于,
上述第二布置图案在上述基板上具备:
第三磁检测部,其具有四角形状的磁感应构件以及长度与该磁感应部的长度不同的四角形状的聚磁构件,以与基板平行且与上述磁感应构件的通过长边方向中点的中线相互不交叉的方式水平地配置;
第四磁检测部,其结构相对于与该第三磁检测部的上述聚磁构件的长边方向垂直的线线对称;以及
连接部,其将上述第三磁检测部的磁感应构件与上述第四磁检测部的磁感应构件电串联连接,
其中,上述第三磁检测部的磁感应构件被配置成被上述第三磁检测部的聚磁构件和上述第四磁检测部的聚磁构件夹持,并且上述第三磁检测部和上述第四磁检测部被配置成相互平行且不重叠,
上述第四布置图案具有与该第二布置图案相同的结构,
上述第三结构是上述第二布置图案和上述第四布置图案以相对于点Mo具有相互对称的位置关系并且相互不重叠的方式分离地相对置配置而成的结构。
3.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
上述第一结构和具有与该第一结构相同的结构的第二结构被配置成相互不平行并且相互不重叠。
4.根据权利要求3所述的磁传感器,其特征在于,
上述第一结构和上述第二结构以相互垂直的位置关系进行配置。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的磁传感器,其特征在于,
上述第一结构与上述第二结构、或者上述第一结构与上述第三结构、或者上述第二结构与上述第三结构、或者上述第一结构与上述第二结构与上述第三结构被配置在同一平面上。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的磁传感器,其特征在于,
对于上述第一布置图案至上述第四布置图案的各布置图案,存在多个结构完全相同的布置图案而构成布置图案群,该布置图案群以相互平行且不重叠的方式配置,并且相同布置图案分别具有的磁感应部之间电连接成一个串联连接体。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的磁传感器,其特征在于,
在上述第一布置图案至上述第四布置图案的各自的聚磁构件中,聚磁部构件被配置成在上述聚磁构件的距上述布置图案的结构中心点远的位置的短边侧T字状地连接,且被配置成上述聚磁部构件与邻接的聚磁构件之间的距离(A)比上述布置图案内的两个聚磁构件间的距离远的位置关系。
8.根据权利要求1~7中的任一项所述的磁传感器,其特征在于,
各上述布置图案间的聚磁构件间距离比各上述布置图案内的两个聚磁构件间的距离长。
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