[发明专利]玻璃基板的搬运装置及搬运方法无效
| 申请号： | 201380004232.8 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103988291A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 田川广行;塚田将夫;佐伯彰久;三成泰纪 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的搬运装置及搬运方法。玻璃基板的搬运装置(1)具备通过把持纵向姿态的玻璃基板(G)中的上缘部(U)来悬挂支承玻璃基板(G)的多个把持机构(10)、(11)，并将由把持机构(10)、(11)悬挂支承的玻璃基板(G)在沿着上缘部(U)的搬运方向T上搬运，其中，将多个把持机构(10)、(11)中的、至少一个把持机构设为位置及/或姿态在水平面上可变的可动把持机构(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 搬运 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的搬运装置，该玻璃基板的搬运装置具备通过把持纵向姿态的玻璃基板中的上缘部来悬挂支承该玻璃基板的多个把持机构，并将由该把持机构悬挂支承的所述玻璃基板在沿着所述上缘部的搬运方向上搬运，所述玻璃基板的搬运装置的特征在于，所述多个把持机构中的、至少一个把持机构是位置及/或姿态在水平面上可变的可动把持机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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