[发明专利]工作台装置及输送装置在审
申请号: | 201380003441.0 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN104968470A | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 佐藤俊德 | 申请(专利权)人: | 日本精工株式会社 |
主分类号: | B23Q1/44 | 分类号: | B23Q1/44;B23Q1/38;B23Q1/56 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 工作台装置(100)包括:第1构件(1),其能够在规定面内移动;第2构件(2),其能够相对于第1构件相对移动;第1引导装置(4),其至少一部分配置于第1构件,并以通过第1构件的移动使第2构件向与同规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件;工作台(10),其支承于第2构件;第3构件(3),其连接于工作台的至少一部分;以及轴承构件(5),其具有能够向与第3构件之间供给气体的供给口(15),利用从供给口供给的气体在该轴承构件与第3构件之间形成气体轴承,并以能够沿与第1轴线平行的方向使第3构件移动的方式支承该第3构件。 | ||
搜索关键词: | 工作台 装置 输送 | ||
【主权项】:
一种工作台装置,其中,该工作台装置包括:第1构件,其能够在规定面内移动;第2构件,其能够相对于上述第1构件相对移动;第1引导装置,其至少一部分配置于上述第1构件,并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件;工作台,其支承于上述第2构件;第3构件,其连接于上述工作台的至少一部分;以及轴承构件,其具有能够向与上述第3构件之间供给气体的供给口,利用从上述供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件之间形成气体轴承,并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件。
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