[发明专利]工作台装置及输送装置

权利要求书

1.一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：

第1构件，其能够在规定面内移动；

第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；

第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；

工作台，其支承于上述第2构件；

第3构件，其连接于上述工作台的至少一部分；以及

轴承构件，其具有能够向与上述第3构件之间供给气体的供给口，利用从上述供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，

上述第3构件是在与上述第1轴线平行的方向上较长的棒状的构件，

上述轴承构件是配置于上述第3构件的周围的筒状的构件，

上述供给口配置为与上述第3构件的侧面相对，

在上述第3构件的与上述第1轴线平行的方向上的移动范围内，上述供给口与上述第3构件的侧面持续相对。

3.根据权利要求2所述的工作台装置，其中，

在与上述第1轴线平行的方向上，上述第3构件的尺寸大于上述轴承构件的尺寸。

4.根据权利要求2或3所述的工作台装置，其中，

在上述第3构件的移动范围内，在与上述第1轴线平行的方向上，上述第3构件的中心持续配置在上述轴承构件的一端部与另一端部之间。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括：

致动器，其用于产生动力以使得上述第1构件沿上述规定面内的与第2轴线平行的方向移动；以及

抑制构件，其用于抑制上述第2构件的与上述第2轴线平行的方向上的移动。

6.根据权利要求5所述的工作台装置，其中，

该工作台装置具有第2引导装置，该第2引导装置的至少一部分配置于上述抑制构件，且该第2引导装置用于沿与上述第1轴线平行的方向引导上述第2构件。

7.根据权利要求5或6所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括支承装置，该支承装置配置在上述第2构件与上述工作台之间，并用于柔软地支承上述工作台。

8.根据权利要求7所述的工作台装置，其中，

上述支承装置包括球面轴承。

9.一种输送装置，其中，该输送装置包括权利要求1至8中任一项所述的工作台装置。