[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

摘要

玻璃基板的制造方法包含：成形步骤，使用设置在成形炉室的成形体，利用下拉法将熔融玻璃成形为平板玻璃；及冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将所述平板玻璃进行徐令。所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间。所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁及所述退火路室内的所述空间彼此之间的间隔壁中的至少一处间隔壁使用具有特定隔热性的隔热板。

主权项

一种玻璃基板的制造方法，其包含：成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的两侧端部与比所述端部接近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火；所述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，以第1平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述平板玻璃的所述中央部的温度成为退火点为止；第2冷却速度控制步骤，以第2平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点‑50℃为止；及第3冷却速度控制步骤，以第3平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述应变点‑50℃成为所述应变点‑200℃为止；所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间，且所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁及将设置在所述退火路室中的所述空间进行分隔的间隔壁中的至少一处间隔壁使用隔热板，所述隔热板具有可以如下方式进行控制的隔热性，即(1)所述第1平均冷却速度为5.0℃／秒以上且50.0℃／秒以下，(2)所述第1平均冷却速度快于所述第2平均冷却速度及所述第3平均冷却速度，(3)经所述冷却步骤冷却的所述平板玻璃具有100ppm以下的热收缩率，且应变的延迟值具有1.0nm以下的值。