[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用下拉法的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。 

背景技术

以往，一直使用利用下拉法制造玻璃基板的方法。在以此种下拉法，制造玻璃基板时，为减少玻璃基板的板厚偏差、翘曲、或应变，而存在预先设计平板玻璃的下流方向的平板玻璃冷却速度或平板玻璃的与下流方向正交的宽度方向的平板玻璃温度分布的情况。在该情形时，平板玻璃的温度为实现该温度分布的温度，而进行包围平板玻璃的环境温度的温度管理。 

例如，作为下拉法的一例，已知下述专利文献1中记载的玻璃基板的制造方法。该制造方法揭示了在退火步骤中，降低平板玻璃的宽度方向的温度分布的方面。 

[背景技术文献] 

[专利文献] 

[专利文献1]日本专利第3586142号公报 

然而，所述制造方法在产生意外的热传递的情形时，存在如下担忧：在平板玻璃的冷却阶段，无法充分地降低平板玻璃的下流方向的冷却速度或平板玻璃的宽度方向的温度分布。 

近年来，用于液晶显示装置或有机EL(electroluminescence，电致发光)显示器等平板显示器的玻璃基板对于玻璃基板的板厚偏差、翘曲、应变、热收缩等品质要求愈发严格。在利用下拉法制造玻璃基板的情形时，根据近年的品质要求，与以往相比，必须精度良好地管理包围平板玻璃的环境温度的温度。 

发明内容

[发明所要解决的问题] 

因此，本发明的目的在于提供一种在利用下拉法，制造玻璃基板时，利用精度良好地管理平板玻璃的周围的环境温度的温度，而满足玻璃基板的品质要求的玻璃基板的制 造方法。 

[解决问题的技术手段] 

本发明包含以下的方式。 

本发明的一方式是一种玻璃基板的制造方法。 

[方式1] 

一种玻璃基板的制造方法，其包含： 

成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及 

冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的两侧的端部与比所述端部靠近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火； 

所述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，以第1平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述平板玻璃的所述中央部的温度成为退火点为止； 

第2冷却速度控制步骤，以第2平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点-50℃为止；及 

第3冷却速度控制步骤，以第3平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述应变点-50℃成为所述应变点-200℃为止； 

所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间，且所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁、及将设置在所述退火路室中的所述空间进行分隔的间隔壁中的至少一间隔壁使用隔热板， 

所述隔热板具有可以如下方式进行控制的隔热性，即 

(1)所述第1平均冷却速度成为5.0℃/秒以上且50.0℃/秒以下， 

(2)所述第1平均冷却速度变得快于所述第2平均冷却速度及所述第3平均冷却速度快， 

(3)经所述冷却步骤冷却的所述平板玻璃具有100ppm以下的热收缩率，且应变的延迟值具有1.0nm以下的值。 

[方式2] 

根据方式1所述的玻璃基板的制造方法，其中所述第3平均冷却速度以变得快于所述第2平均冷却速度的方式受到控制， 

所述第3冷却速度控制步骤包含以所述平板玻璃的宽度方向的温度自所述平板玻璃 的宽度方向的端部朝向中央部变低的方式进行控制的步骤。 

[方式3] 

一种玻璃基板的制造方法，其包含： 

成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及 

冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的形成在侧部的端部与比所述端部接近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火； 

所述冷却步骤包含：第4冷却速度控制步骤，在所述中央部以第4平均冷却速度冷却平板玻璃，直至所述平板玻璃的宽度方向的所述中央部的温度成为退火点为止，